担当者

（1）シリコン微細加工と評価の支援

佐々木 実

（2）MEMSデバイスの作製と評価に関する支援

佐々木 実

（3）化合物半導体量子構造の作製、評価、応用に関する支援

岩田 直高、神谷 格

（4）化合物半導体・シリコン系ナノ構造の作製と評価の支援

大下 祥雄、小島 信晃

（5）プローブ顕微鏡による表面科学計測、ナノカーボン創製と応用の支援

吉村 雅満

（6）スピントロニクス材料の成膜、デバイスの作製と評価の支援

粟野 博之